MEMS振荡器是由 MEMS硅晶圆和 CMOS晶圆上下叠加而成,而CMOS晶圆则包括了NON MemoryPLL 锁相环电路、起振电路与温补电路。

MEMS硅振荡器由两部分组成:谐振器部分和IC振荡部分。谐振器部分为MEMS硅晶圆,IC振荡部分为CMOS晶圆。


Insert title here
电话:0755-86097105